第0319章 问题又回到了起点（1 / 2）

“据我所知，目前米、日、荷等国都已经展开了对极紫外光的研究，特别是米国，集中了几个国家实验室的力量，投入了大量的人力和物力来攻关。”

“他们遇到的难题很多，最棘手的一个问题，就是极紫外光可被包括空气在内的所有东西吸收，无法顺利抵达晶圆表面。”

“这对我们来说是一个好消息，给了我们一个追赶的机会，所以，哪怕再难，极紫外光也必须立项。”

“否则，不久的将来，在微电子方面，西方发达国家将会把我们远远抛到身后！”

“别人的技术先进，就意味着对我们的垄断和封锁，我想，这肯定是大家都不愿意看到的后果吧？”

“那当然！”李院士和徐教授毫不犹豫地点头。

换了任何一个有远见的华国人，应该都有这方面的认识。

一直以来，国外对华国的技术垄断和封锁，都是有目共睹的。

先进的技术和设备，统统不卖给华国。

就算卖一些过时的技术和设备，也是一副高高在上的态度往死里要价。

对于这些，李坚强和徐端逸都是深有感触的。

但他们对极紫外光的研究还是一点把握都没有。

“外国专家都无法突破，咱们一点基础都没有，搞起来恐怕更难啊！”

有这样的担忧也正常。

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“综合来看，光源、反射镜和工作台是光刻机的三大部件，咱们先来说说极紫外光源。”

“目前国外普遍研究的是同步辐射光源。”

“这种光源具有高准直、高偏振、

。高纯净度、高亮度等诸多优点，但它却有一个致命缺陷。”

“电子注入过程复杂，导致它的造价太高，不适合大规模推广应用。”

“所以我觉得我们对极紫外光源的研究，应该是放电等离子体方案。”

“这种办法能够将电能直接转化为等离子体能，与同步辐射源相比，由于可以建立较大功率电源系统，能源转换效率有进一步的提高。”

“此外，由于它的光源结构简单，研制更容易着手，运营成本更低，更适合大规模工业应用……”

牧乔滔滔不绝地说着，从光源说到了反射镜，然后又说起工作台。

牧乔惊喜于自己超强的记忆力，也庆幸自己上一辈子闲得无聊的时候，在网上阅读了不少对他来说完全没有一点用处的学术文献。

但他不知道的是，此时此刻，李坚强和徐端逸更加震惊。

极紫外光刻这个概念，国际上是80年代末期才提出来的，此后，西方发达国家展开了大量的实验研究。cascoo.net

但到现在为止，没有任何一个国家取得突破性的成果。

在国内，有一些从事微电子行业的人，甚至连极紫外光这个概念都搞不大清楚。

但牧乔这个连大学都没读过的年轻人，却将它说得头头是道！

最关键的是，他还给出了研发的方向。

千万别小看了这一点。

科学研究，本身就是在不断的探索中前进。

但这个探索的过程却并非坦途，并非一帆风顺，有的要经过多次失败再总结经验教训后才能成功。

爱迪生发明电灯，试验失败了上万次，才找到了用钨来做灯丝的最佳方案。

可以说，如果没有牧乔指明方向，极紫外光即使立项，也注定要走不少的冤枉路，而且最后还不一定能够成功。

“小牧，你对极紫外光刻的了解，比我这个搞了一辈子光学研究的人还要多，你真的……只是一个技校生？”

徐端逸的情绪有点激动，同时心里再次泛起了一丝疑惑。

“干一行爱一行嘛，自从决定要搞集成电路之后，我就专门对相关技术进行了彻底的了解……当然

。了，花的钱也不少。”

牧乔早就想好了说辞，此刻徐端逸一问，他便笑眯眯地说了出来。

不过这并没打消徐端逸的疑惑。

“这些尖端科技，你花再多的钱也买不到吧？”

“如果是已经成熟的科研成果，那可能真的买不到，但这只是他们的研究方向和一小部分研究成果，通过一些渠道多花点钱还是能买到的。”

徐端逸锲而不舍地追问道：

“听说你们的vcd技术是从一名米国华侨那儿买来的，这个极紫外光的资料，应该也是从他那儿搞来的吧？”

作为合作方，水木大学这边对华腾也是作过细致了解的，知道他们买了vcd技术并没有毛病。

不过，牧乔没有想到徐端逸竟然自己脑补出了这么一个极紫外光资料的来源。

“这个……”牧乔故作犹豫地摇了摇头，“这个我不能说，我们是签了保密协议的。”

“而且我还想通过这个渠道，以后再搞一些国外的先进技术呢。”

这番作态，反而让徐端逸更加确定了他的想法。

“我懂我懂！”徐端逸连连点头，说完还心照不宣地向牧乔眨了眨眼。

“……”牧乔不知道说什么好了。

这时，李院士突然开口说道，“从