第一六五章 大白(2 / 2)
再镀膜,然后再通过刻蚀,把薄膜做成图形电路,主要工序就完成了。
但是……
磁芯的制作过程复杂来说,可以写成一本厚厚的工艺手册,镀膜要镀好几种膜,绝缘膜、保护膜、下层电路膜、上层电路膜……根据工艺的不同各有区别。
这还不算完,每种膜往往又是多层的复合膜,先用一种靶材镀一层膜,再用另一种靶材镀一层膜,每层膜的厚度各不相同……
曲军在论文里只披露了关键的FE-C合金靶材,另外两种靶材都用代号替代,每层膜的厚度也没说,光这一个技术障碍,TDK的研发部门两年都破解不了。
基体的制作,对洁净度没有太高要求,已经提前完成,曲军又等了两天,孙迎春的净化间终于大功告成,磁控溅射仪可以上电开机了。
曲军从头到脚套上净化服,和抗击新冠的大白颇有几分神似,享受了进门的洗剪吹一条龙服务(喷淋和洁净吹风),来到磁控溅射机前面,按下开关。
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